autores
- M. F. Silva
- Pimenta, Sara Filomena Ribeiro
- Freitas, João R.
- Rodrigues, Vítor H.
- Silva, Manuel Fernando Ribeiro
- Correia, J. H.
Silicon nitride thin-films deposited by radiofrequency reactive sputtering: Refractive index optimization with substrate cooling in a nitrogen-rich atmosphere
Artigo Académico
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