A microkinetic model for doping of silicon layers during molecular-beam epitaxy Artigo Académico

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autores

Vasilevskiy, Mikhail
Vasilevskiy, M.I.
Andreev, A.Yu.
Kuznetsov, V.P.

data de publicação

janeiro 1, 1993

publicada em

https://portaberta.uminho.pt/individual/journal-issn-0039_6028 Revista