Pull-in MEMS Inclinometer Artigo Académico

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Visão geral

autores

• Alves, F. S.
• Rocha, L. A.
• Alves, F. S.
• Cabral, J.
• Dias, R. A.
• Cabral, J.
• Dias, R. A.
• Alves, F. S.
• Cabral, Jorge
• Rocha, L. A.
• Walczak, R
• Dziuban, J

data de publicação

• janeiro 1, 2012

publicada em

• 26th European Conference on Solid-State Transducers, Eurosensor 2012  Revista
• Procedia Engineering  Revista

Pesquisas

palavras-chave

• Inclinometer
• MEMS
• Pull-in voltage

Identidade

Digital Object Identifier (DOI)

• https://doi.org/10.1016/j.proeng.2012.09.377
• https://doi.org/10.1016/j.proeng.2012.09.377

Informação adicional documento

Página Inicial

• 1239

página final

• 1242

Volume

• 47