autores L Rebouta A. AL-Rjoub Fernandes, F. Barradas, N. P. L. Rebouta Alves, E. N.F. Cunha AL-Rjoub, A. F. Fernandes N.P. Barradas Rebouta, L. Cunha, N. F. E. Alves
palavras-chave AlSiTiN /SiAlTiO N x y x AlSiTiNx/SiAlTiOyNx Selective coating Sputtering Thermal stability