Tantalum-Titanium Oxynitride Thin Films Deposited by DC Reactive Magnetron Co-Sputtering: Mechanical, Optical, and Electrical Characterization Artigo Académico uri icon

autores

  • Luís António Carvalho Gachineiro da Cunha
  • Cristea, Daniel
  • Ioana Laura Velicu
  • Cunha, L.
  • Barradas, N.P.
  • Alves, E.
  • Valentin Craciun

data de publicação

  • dezembro 2021