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Al2O3 Ultra-Thin Films Deposited by PEALD for Rubidium Optically Pumped Atomic Magnetometers with On-Chip Photodiode
Artigo Académico
http://dx.doi.org/10.3390/coatings13030638
https://doi.org/10.3390/coatings13030638
Visão geral
Identidade
Informação adicional documento
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Visão geral
autores
Correia, J. H.
M. F. Silva
F. M. Cunha
Silva, Manuel Fernando Ribeiro
Gomes, N.M.
data de publicação
março 2023
publicada em
Coatings
Revista
Identidade
Digital Object Identifier (DOI)
https://doi.org/10.3390/coatings13030638
Informação adicional documento
Página Inicial
638
página final
638
Volume
13
questão
3