autores
- Cunha, L.
- Parkhomenko, Roman G.
- De Luca, Oreste
- Kolodziejczyk, Lukasz
- Petra Rudolf
- Diego Martínez Martínez
- Evgeny B. Modin
- Luís António Carvalho Gachineiro da Cunha
- Knez, Mato
Amorphous AlN films grown by ALD from trimethylaluminum and monomethylhydrazine
Artigo Académico
- Visão geral
- Identidade
- Informação adicional documento
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