Amorphous AlN films grown by ALD from trimethylaluminum and monomethylhydrazine Artigo Académico uri icon

autores

  • Cunha, L.
  • Parkhomenko, Roman G.
  • De Luca, Oreste
  • Kolodziejczyk, Lukasz
  • Petra Rudolf
  • Diego Martínez Martínez
  • Evgeny B. Modin
  • Luís António Carvalho Gachineiro da Cunha
  • Knez, Mato

data de publicação

  • janeiro 1, 2021