Characterization of titanium silicon nitride films deposited by PVD Artigo Académico

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autores

Luis Manuel Fernandes Rebouta
Vaz, F
Rebouta, L
da Silva, RMC
Da Silva, M.F.
Soares, JC
Vaz, F.
Rebouta, L.
Aksoy-Aksel, A.

data de publicação

janeiro 1, 1999

publicada em

Vacuum Revista