Structural, mechanical and piezoelectric properties of polycrystalline AlN films sputtered on titanium bottom electrodes uri icon

autores

  • Clarisse Ribeiro
  • Luís António Carvalho Gachineiro da Cunha
  • Martins, Pedro Libânio Abreu
  • Oncioiu, G.
  • P¿tru, M.
  • Cristea, D.
  • Isac, L.
  • Cunha, L.
  • Pătru, M.
  • Martins, P.
  • Munteanu, D.
  • Isac, L.
  • Lanceros-Mendez, S.
  • Cunha, L.
  • Oncioiu, G.
  • Cristea, D.
  • Martins, P.
  • Lanceros-Méndez, S.
  • Munteanu, D.

data de publicação

  • janeiro 1, 2015