THE INFLUENCE OF THE DEPOSITION CONDITIONS ON THE MECHANICAL PROPERTIES OF TI(C,O,N) THIN FILMS OBTAINED BY SPUTTERING PROCESS Artigo Académico uri icon

autores

  • Filipe Vaz
  • Olteanu, C.
  • Olteanu, C.
  • Munteanu, A.
  • Munteanu, A.
  • Munteanu, D.
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  • Borcea, B.
  • Borcea, B.
  • Vaz, F.
  • Vaz, F.
  • Cunha, L.
  • Cunha, L.

data de publicação

  • janeiro 1, 2009