autores
- Garcia, Inês Sofia Moreira
- Inês Pires
- João Vieira
- Zeev Zalevsky
- CARLOS CALAZA
- Alves, F.S.
- Dias, R.A.
High-Frequency Grating-Based Microelectromechanical Systems Actuator
Artigo de Conferência
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Visão geral
data de publicação
- abril 2024