Hot-wire chemical vapour deposition and characterization of silicon nitride membranes Artigo Académico uri icon

autores

  • Goncalves, L.M.
  • Gonçalves, L. M.
  • Alpuim, P.
  • Filonovich, S.
  • Viseu, T. M. R.
  • Lanceros-Méndez, S.

data de publicação

  • janeiro 1, 2007