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Assessment of residual stress on thin films by laser microtopography
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Visão geral
Pesquisas
Identidade
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Visão geral
autores
Teixeira, V.
Costa, M.F.M.
data de publicação
janeiro 1, 2011
publicada em
Proceedings of SPIE
Revista
Pesquisas
palavras-chave
Microtopography
Rugometry
Stress
residual stress
thin films
Identidade
Digital Object Identifier (DOI)
https://doi.org/10.1117/12.902212
Informação adicional documento
Página Inicial
801112-1
página final
801112-7
Volume
8011