autores
- Garcia, Inês Sofia Moreira
- Fernandes, José Miguel Penteado Neiva Silva
- José B. Queiroz
- CARLOS CALAZA
- Jose Moreira
- Dias, R.A.
- Alves, F.S.
Microfabrication of double proof-mass SOI-based matryoshka-like structures for 3-axis MEMS accelerometers
Artigo Académico
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