autores
- Garcia, Inês Sofia Moreira
- Cabral, Jorge
- Joana D. Santos
- Marco Martins
- Carlos Cordoso Ferreira
- Dias, R.A.
- Aguiam, D.E.
- Martins, Marcos Silva
- Gaspar, J
- Rosana Maria Alves Dias
Fabrication of a MEMS Micromirror Based on Bulk Silicon Micromachining Combined With Grayscale Lithography
Artigo Académico
- Visão geral
- Pesquisas
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