MICROCRYSTALLINE SILICON THIN-FILMS PREPARED BY RF REACTIVE MAGNETRON SPUTTER-DEPOSITION Artigo Académico

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autores

L Rebouta
CERQUEIRA, MF
ANDRITSCHKY, M
REBOUTA, L
FERREIRA, JA
DASILVA, MF

data de publicação

janeiro 1, 1995

publicada em

Vacuum Revista