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Two-dimensional fluid approach to the dc magnetron discharge
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Visão geral
autores
Luis Marques
Costin, C.
Marques, L.
Popa, G.
Gousset, G.
data de publicação
janeiro 1, 2005
publicada em
Plasma Sources Science & Technology
Revista
Identidade
Digital Object Identifier (DOI)
https://doi.org/10.1088/0963-0252/14/1/018
Informação adicional documento
Página Inicial
168
página final
176
Volume
14
questão
1