VIVO
Selecione um idioma
Português (Portugal)
English (United States)
Index
Formulário de pesquisa
Início
Pessoas
Organizações
Investigação
Optical properties of AlN xO y thin films deposited by DC magnetron sputtering
Artigo de Conferência
Visão geral
Pesquisas
Identidade
Informação adicional documento
Ver Todos
Visão geral
autores
Borges, J.
Filipe Vaz
Luis Marques
Alves, E.
Vaz, F.
Marques, L.
data de publicação
janeiro 2011
publicada em
Proceedings of SPIE
Revista
Pesquisas
palavras-chave
Aluminium oxynitride
DC reactive magnetron sputtering
Optical properties
Identidade
Digital Object Identifier (DOI)
https://doi.org/10.1117/12.892038
Informação adicional documento
Página Inicial
80010F-1
página final
80010F-8