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Microcrystalline silicon thin films prepared by RF reactive magnetron sputter deposition
Artigo Académico
Visão geral
Identidade
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autores
Cerqueira, María de Fátima
data de publicação
janeiro 1, 1995
publicada em
Vacuum Vol. 46, nº 12, p. 1385 (1995)
Revista
Identidade
Digital Object Identifier (DOI)
https://doi.org/10.1016/0042-207x(95)00158-1