Capacitively coupled hydrogen discharges: Modeling vs. experiment

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Visão geral

autores

• Luis Marques
• Marques, L.
• Jolly, J.
• Gousset, G.
• Alves, L.L.

data de publicação

• janeiro 1, 2004

publicada em

• High Temperature Material Processes  Revista

Pesquisas

palavras-chave

• Capacitively coupled discharges
• Hydrogen atoms
• Hydrogen plasma
• Kinetic model
• Radio-frequency discharges

Identidade

Digital Object Identifier (DOI)

• https://doi.org/10.1615/hightempmatproc.v8.i4.20

Informação adicional documento

Página Inicial

• 499

página final

• 518

Volume

• 8

questão

• 4