autores
- Garcia, Inês Sofia Moreira
- Garcia, I.S.
- Moreira, E.E.
- DIas, R.A.
- Gaspar, J.
- Alves, F.S.
- Rocha, L.A.
Sub-Micron Mems Accelerometer with Handle-Layer Patterning for Damping Enhancement Using Time Transduction
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data de publicação
- janeiro 1, 2019