autores
- Florival Moura da Cunha
- M. F. Silva
- F. M. Cunha
- Silva, Manuel Fernando Ribeiro
- Correia, J. H.
Plasma-enhanced atomic layer deposition of silicon nitride using bis(diethylamino)silane precursor with N2-plasma
Artigo Académico
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data de publicação
- fevereiro 1, 2026