Ultra-Short Pulse HiPIMS: A Strategy to Suppress Arcing during Reactive Deposition of SiO2 Thin Films with Enhanced Mechanical and Optical Properties uri icon

autores

  • Luís António Carvalho Gachineiro da Cunha
  • Vasile Tiron
  • Ioana Laura Velicu
  • Teodora Matei
  • Daniel Cristea
  • Cunha, L.
  • George Stoian

data de publicação

  • junho 2020