Raman analysis of Si-C-N films grown by reactive magnetron sputtering uri icon

autores

  • Cacilda Maria Lima de Moura
  • Luís António Carvalho Gachineiro da Cunha
  • Liang, E.J.
  • Zhang, J.W.
  • Leme, J.
  • Moura, C.
  • Cunha, L.

data de publicação

  • janeiro 1, 2004