Thermal stability of Zr-O-N(:Ti) thin films prepared by magnetron sputtering uri icon

autores

  • Luís António Carvalho Gachineiro da Cunha
  • C.I. da Silva-Oliveira
  • Detavernier, C.
  • Cunha, L.
  • D. Martínez-Martínez
  • M. Apreutesei
  • Oliveira, Catarina Isabel Silva
  • Diego Martínez-Martínez
  • G. Rampelberg
  • Apreutesei, M.
  • C. Detavernier
  • L. Cunha
  • Rampelberg, G.

data de publicação

  • maio 1, 2018

publicada em