Thermal compensated pull-in voltage MEMS inclinometers Artigo Académico Artigo de Conferência uri icon

autores

  • Cabral, Jorge
  • Alves, F.S.
  • Dias, R.A.
  • Cabral, J.
  • Dias, R. A.
  • Alves, F. S.

data de publicação

  • janeiro 1, 2014