Ion beam studies of TiNxOy thin films deposited by reactive magnetron sputtering Artigo Académico uri icon

autores

  • Filipe Vaz
  • L Rebouta
  • Alves, E
  • Ramos, A.R.
  • Barradas, N.P.
  • Vaz, F
  • Cerqueira, P
  • Rebouta, L
  • Kreissig, U

data de publicação

  • janeiro 1, 2004