autores
- Garcia, Inês Sofia Moreira
- Cunha, João Carlos Soares
- Joana D. Santos
- Fernandes, Florbela P.
- González-Losada, Pedro
- Gaspar, J.
- Aksoy-Aksel, A.
Assessing tolerances in direct write laser grayscale lithography and reactive ion etching pattern transfer for fabrication of 2.5D Si master molds
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