autores Almeida L Rebouta Costa, P. Manninen, Nora Kristiina Alves Sousa AL-Rjoub, A. Alves, D. Almeida, B. G. Rebouta, L. Barradas, N. P. Manninen, N. K. Alves, D. Almeida, B. Costa, Pedro Miguel Pinto Al-Rjoub, A. Barradas, N. P. Alves, E. Rebouta, L.
palavras-chave Aluminum silicon oxide Dielectric properties Electrical conductivity Optical properties Sputtered Al1-xSixOy Sputtering