Small-size MEMS Accelerometer Encapsulated in Vacuum Using Sigma-Delta Modulation Artigo de Conferência uri icon

autores

  • Lima, V.
  • Luis Alexandre Rocha
  • Cabral, J.
  • Vasco António Lourenço Lima
  • Cabral, Jorge
  • Kuhlmann, B.
  • Burkhard Kuhlmann
  • Gaspar, J.
  • Gaspar, J
  • Rocha, L.A.

data de publicação

  • janeiro 1, 2020