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Structural development in hard Si-based TiN coatings as a function of temperature: A comprehensive study in vacuum and in air
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autores
Filipe Vaz
Vaz, F.
Rebouta, L.
Carvalho, S.
Rocha, L.A.
Soares, D.
Alves, E.
data de publicação
2002
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Volume
383