Mechanical characterization of reactively magnetron-sputtered TiN films Artigo Académico uri icon

autores

  • Filipe Vaz
  • Luis Manuel Fernandes Rebouta
  • Vaz, F
  • Machado, P
  • Rebouta, L
  • Cerqueira, P
  • Goudeau, P
  • Riviere, JP
  • Alves, E
  • Pischow, K
  • De Rijk, J.

data de publicação

  • janeiro 1, 2003