Physical and morphologycal Characterization of Reactively Magnetron Sputtered TiN films uri icon

autores

  • Filipe Vaz
  • F. Vaz
  • P. Machado
  • L. Rebouta
  • S. Lanceros-Méndez
  • L. Cunha
  • S. M. C. Nascimento
  • et al

data de publicação

  • abril 1, 2002