Study of roughness in Ti0.4Al0.6N/Mo multilayer structures Artigo Académico

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autores

Luis Manuel Fernandes Rebouta
Tavares, CJ
Rebouta, L
Alves, E
Barradas, NP
Pacaud, J
Riviere, JP

data de publicação

janeiro 1, 2002

publicada em

Nuclear Instruments & Methods in Physics Research Section B-Beam Interactions With Materials and Atoms Revista