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Visão geral
autores
Alpuim, P.
Alpuim, P.
Ferreira, P.
Chu, V.
Conde, J.P.
data de publicação
janeiro 1, 2002
publicada em
Journal of Non-Crystalline Solids
Revista
Pesquisas
palavras-chave
Chemical-vapor-deposition
Films
Hydrogen content
Identidade
Digital Object Identifier (DOI)
https://doi.org/10.1016/s0022-3093(01)01017-1
Informação adicional documento
Página Inicial
434
página final
438
Volume
299
299-302