Capacitively coupled radio-frequency discharges in nitrogen at low pressures uri icon

autores

  • Luis Marques
  • Alves, L.L.
  • Kovacevic, E.
  • Carrasco, N.
  • Marques, L.
  • Boufendi, L.
  • Pintassilgo, C.D.
  • Cernogora, G.
  • Wattieaux, G.
  • Alves, L. L.
  • Es-Sebbar, E.
  • Berndt, J.
  • Marques, L.
  • Kovacevic, E.
  • Pintassilgo, C. D.
  • Aksoy-Aksel, A.
  • Wattieaux, G.
  • Es-Sebbar, E. T.
  • Berndt, J.

data de publicação

  • janeiro 1, 2012