Magnetron sputtered Ti-Si-C thin films prepared at low temperatures Artigo Académico uri icon

autores

  • Carvalho, S.
  • Filipe Vaz
  • Lopes, C.
  • Parreira, N.M.G.
  • Carvalho, S.
  • Cavaleiro, A.
  • Rivière, J.P.
  • Le Bourhis, E
  • Vaz, F.

data de publicação

  • janeiro 1, 2007