Double sheaths in RF discharges

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Visão geral

autores

• Luis Marques
• Marques, L.
• Gousset, G.
• Alves, L.L.

data de publicação

• janeiro 1, 2005

publicada em

• IEEE Transactions on Plasma Science  Revista

Pesquisas

palavras-chave

• field inversion
• helium
• hydrogen
• radio frequency (RF) discharges

Identidade

Digital Object Identifier (DOI)

• https://doi.org/10.1109/tps.2005.845130

Informação adicional documento

Página Inicial

• 358

página final

• 359

Volume

• 33

questão

• 1
• 2 I