Influence of low energy argon plasma treatment on the moisture barrier performance of hot wire-CVD grown SiNx multilayers uri icon

autores

  • Alpuim, P.
  • Cerqueira, María de Fátima
  • Bourée, J.E.
  • Majee, S.
  • Cerqueira, M.F.
  • Majee, S.
  • Cerqueira, M. F.
  • Tondelier, D.
  • Geffroy, B.
  • Tondelier, D.
  • Bonnassieux, Y.
  • Geffroy, B.
  • Alpuim, P.
  • Bonnassieux, Y.
  • Alpuim, P.
  • Bourée, J.E.

data de publicação

  • janeiro 1, 2014