Deposition of Ti-Zr-O-N films by reactive magnetron sputtering of Zr target with Ti ribbons Artigo Académico

https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0257897220314079?dgcid=rss_sd_all

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autores

Martins, Pedro Libânio Abreu

data de publicação

março 2021

publicada em

Revista Portuguesa de Estudos Regionais Revista