High-Resolution MEMS Inclinometer Based on Pull-In Voltage

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Visão geral

autores

• Alves, F.S.
• Gaspar, J.
• Dias, R.A.
• Luis Alexandre Rocha
• Cabral, J.M.
• Dias, Rosana Maria Alves
• Gaspar, J.
• Cabral, Jorge
• Rocha, L.A.

data de publicação

• janeiro 1, 2015

publicada em

• Journal of Microelectromechanical Systems  Revista

Pesquisas

palavras-chave

• FPGA
• Inclinometer
• MEMS
• Pull-in voltage

Identidade

Digital Object Identifier (DOI)

• https://doi.org/10.1109/jmems.2014.2359633

Informação adicional documento

Página Inicial

• 931

página final

• 939

Volume

• 24

questão

• 4