Dependence of the strains and residual mechanical stresses on the performances presented by a-Si:H thin film position sensors Artigo Académico uri icon

autores

  • Manuel Filipe Pereira da Cunha Martins Costa
  • Teixeira, Vasco M. P.
  • Fortunato, E.
  • Brida, D.
  • Pereira, L.
  • Águas, H.
  • Silva, V.
  • Ferreira, I.
  • Costa, M.F.M.
  • Teixeira, V.
  • Martins, R.

data de publicação

  • janeiro 1, 2002