autores Freitas, João R. Pimenta, Sara Filomena Ribeiro Dong, T. Freitas, J.R. Pimenta, S. Yang, Z. Correia, J. H. Ribeiro, J.F. Dong, T. Yang, Z. Correia, J.H. Ribeiro, J. F.
palavras-chave AFM AFM/SEM tools Gaussian optics Light collimation PDMS PDMS demolding PDMS/PDMS demolding Photolithography SEM tools Thermal reflow