Ultra-sensitive shape sensor test structures based on piezoresistive doped nanocrystalline silicon Artigo Académico uri icon

autores

  • Alpuim, P.
  • Carvalho, Miguel
  • Clarisse Ribeiro
  • Alpuim, P.
  • Marins, E.S.
  • Rocha, P.F.
  • Trindade, I.G.
  • Carvalho, M.A.
  • Lanceros-Mendez, S.

data de publicação

  • janeiro 1, 2009

publicada em