The influence of the deposition conditions on the mechanical properties of TI(C,O,N) thin films obtained by sputtering process Artigo Académico uri icon

autores

  • Luís António Carvalho Gachineiro da Cunha
  • Olteanu, C.
  • Munteanu, A.
  • Munteanu, D.
  • Borcea, B.
  • Vaz, F.
  • Cunha, L.

data de publicação

  • janeiro 1, 2009