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MEMS resonators with electrostatic actuation and piezoresistive readout for sensing applications
Artigo Académico
http://www.scopus.com/inward/record.url?eid=2-s2.0-85135966883&partnerID=MN8TOARS
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Identidade
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Visão geral
autores
Cabral, Jorge
Coelho, C.
Machado, G.
Cabral, J.
Rocha, L.
data de publicação
janeiro 1, 2022
publicada em
Micro and Nano Engineering
Revista
Identidade
Digital Object Identifier (DOI)
https://doi.org/10.1016/j.mne.2022.100158
Informação adicional documento
Volume
16