Characterization of titanium silicon nitride films deposited by PVD uri icon

autores

  • Filipe Vaz
  • Soares, J. C.
  • Vaz, F
  • Vaz, F.
  • Rebouta, L
  • Rebouta, L.
  • Vaz, F.
  • Da Silva, R.M.C.
  • da Silva, RMC
  • Rebouta, L.
  • Da Silva, M.F.
  • da Silva, MF
  • da Silva, RMC
  • Da Silva, M.F.
  • Soares, J.C.
  • Soares, JC

data de publicação

  • janeiro 1, 1999

publicada em