Electrical properties of AlN xO y thin films prepared by reactive magnetron sputtering uri icon

autores

  • Borges, Joel
  • Filipe Vaz
  • Luis Marques
  • Borges, J.
  • Riviere, J. P.
  • Martin, N.
  • Vaz, F.
  • Barradas, N.P.
  • Marques, L.
  • Alves, E.
  • Eyidi, D.
  • Martin, N.
  • Barradas, N. P.
  • Beaufort, M.F.
  • Alves, E.
  • Riviere, J.P.
  • Eyidi, D.
  • Vaz, F.
  • Beaufort, Marie France
  • Marques, L.

data de publicação

  • janeiro 1, 2012