Young's modulus of (Ti,Si)N films by surface acoustic waves and indentation techniques uri icon

autores

  • Carvalho S
  • Filipe Vaz
  • L Rebouta
  • Silva, M. Z.
  • Vaz, F.
  • Carvalho, S.
  • Paúl, A.
  • Rebouta, L.
  • Schneider, D.
  • Silva, M.Z.
  • Vaz, F.
  • Carvalho, S.
  • Paúl, A.
  • Rebouta, L.
  • Schneider, D.
  • Vaz, F
  • Aksoy-Aksel, A.

data de publicação

  • janeiro 1, 2002