publicações selecionadas artigo académico Al2O3 Ultra-Thin Films Deposited by PEALD for Rubidium Optically Pumped Atomic Magnetometers with On-Chip Photodiode. Coatings. 2023 teses Montagem e instalação de um sistema de deposição de camadas atómicas (ALD) e deposição de filmes de Al₂O₃ e SiO₂ para diferentes aplicações 2023